Sputtern und Beschichten

Anforderungen an verbesserte Funktionalität bei fortschreitender Miniaturisierung erfordern spezifisch veränderte Oberflächen und Beschichtungen. Daher bieten wir unter anderem folgende Beschichtungsverfahren an:

• Bedampfen
• Magnetron-Sputtern
• Reaktive PVD-Beschichtung
• Galvanische Beschichtung
• Sprühbeschichtung
• Parylene Beschichtung (Polymerbeschichtung auf Mikropräzisionsteilen)

Typische (metallische) Beschichtungen sind:

• Titan-Nitrid
• Iridium
• Poröses Platin
• Platin
• Gold
• Ruthenoxid
• Tantaloxid
• Titan
• Kohlenstoff

Die Beschichtungen können dicht oder porös sein und auch aus mehreren Schichten bestehen. Mikroporöse Beschichtungen reduzieren zum Beispiel die Impedanz. Versieht man diese mit einer zusätzlichen Schutzschicht, so kann dies die Oxidation und die Alterung der porösen Schicht verhindern, ein typisches Mehrschichtsystem.